電子能譜分析法是指采用單色光源（如X射線、紫外光）或電子束去照射樣品，使樣品中電子受到激發而發射出來，然后測量這些電子的產額（強度）對其能量的分布，從中獲得有關信息。

　　特點

　　1)除氫和氦元素之外，可以分析所有其他元素，能直接測定來自樣品的單個能級發射的光電子能量分布，直接得到電子能級結構的信息。

　　2)從能量范圍來看，電子能譜提供的信息可視為“原子指紋”，能測定原子價層電子和內層電子軌道，提供有關化學鍵方面的信息。而相鄰元素的同種能級的譜線相隔甚遠，相互干擾少，元素定性分析的標識性強。

　　3)電子能譜分析是一種無損傷分析。

　　4)電子能譜分析是一種高靈敏度超微量表面分析技術。分析所需試樣量約10-8g即可，*靈敏度可達10-18，樣品分析深度為2nm。